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    電子氣體
    Silane 硅烷6N


     Silane 硅烷 (SiH4)

    Total Purity 純度:>99.9999%

    Vapor Phase Impurities

    氣相雜質

    Contaminants

    雜質

     

    Specifications (ppmv)

    規格

    Ar

    Argon 氬氣

    <0.05

    Total Chlorosilane

    Total Chlorosilane 總氯硅烷

    <0.15

    Disilane

    Disilane 乙硅烷

    <0.5

    He

    Helium 氦氣

    <1

    O2

    Oxygen 氧氣

    <0.05

    N2

    Nitrogen 氮氣

    <1

    H2

    Hydrogen 氫氣

    <20

    CO

    Carbon Monoxide 一氧化碳

    <0.05

    CO2

    Carbon Dioxide 二氧化碳

    <0.05

    CH4

    Methane 甲烷

    <0.05

    Carbon

    Carbon 

    <0.2 ppma

    Disiloxane

    Disiloxane 二硅氧烷

    <0.5

    Methylsilane

    Methylsilane 甲基硅烷

    <0.5

    Al

    Aluminium 

    <0.005 ppba

    Sb

    Antimony 

    <0.005 ppba

    As

    Arsenic 

    <0.005 ppba

    B

    Boron 

    <0.02 ppba

    Ca

    Calcium 

    <10 ppba

    Ga

    Gallium 

    <0.005 ppba

    In

    Indium 

    <0.005 ppba

    P

    Phosphorus 

    <0.02 ppba

    K

    Potassium 

    <10 ppba

    Na

    Sodium 

    <5 ppba

    Cr+Cu+Fe+Ni+Zn

    ++++

    <1 ppba

    H2O

    Moisture 

    <0.5

    Resistivity

    Resistivity 電阻系數

    >10000 ohm-cm

     

    Standard Package Information

    包裝規格

    Cylinder Type氣瓶規格

    47?,  Ton-cylinder,  20ft ISO-Container,  40ft ISO-Container

    Fill Weight充裝量 (kg)

    10,    100 ,          2000 ,               4000

    Valve Connection 閥門(CGA)

    JIS 22L,  CGA 632,  CGA350

     



    服務熱線:13961886798

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